我公司承擔(dān)02專項課題順利通過國家正式驗收
北廣科技承擔(dān)的“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”國家科技重大專項02專項課題,,已于2019年1月26日完成了綜合績效評價,,順利通過國家正式驗收。這標志著北廣科技首次承擔(dān)的國家科技重大專項任務(wù)圓滿完成,。
“02專項”是《國家中長期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020年)》確定的十六個重大專項之一,,旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備,,掌握具有自主知識產(chǎn)權(quán)的成套先進工藝及相關(guān)新材料技術(shù),打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的狀況,。公司研發(fā)的射頻發(fā)生器產(chǎn)品達到了研制任務(wù)合同書的各項要求,,具備了進入集成電路行業(yè)的技術(shù)條件。課題促進了國內(nèi)射頻發(fā)生器零部件行業(yè)的技術(shù)水平和產(chǎn)業(yè)發(fā)展,,提升了產(chǎn)業(yè)競爭力,,推動了我國集成電路等行業(yè)關(guān)鍵制造設(shè)備的國產(chǎn)化進程,。
“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”課題,面向極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝對射頻發(fā)生器的功率穩(wěn)定度,、精度和線性度等技術(shù)要求,,突破了一系列關(guān)鍵技術(shù)瓶頸,研發(fā)了三款射頻發(fā)生器產(chǎn)品,。新產(chǎn)品通過了北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司的工藝測試驗證考核,,并且通過了第三方科學(xué)技術(shù)成果評價。此前,,本課題已通過了組織嚴格的現(xiàn)場測試,、檔案正式驗收和內(nèi)部驗收。本輪正式驗收,,評審專家組聽取了課題完成情況報告和現(xiàn)場測試組的驗收測試報告,,審閱了驗收資料,經(jīng)過專家組問詢,、討論和逐項打分,,認定課題已經(jīng)完成合同書中約定的各項考核指標,一致同意課題通過驗收,!
“射頻發(fā)生器研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”課題,,共獲得了4000多萬元的國家政府資金資助,申請了42項專利(其中國內(nèi)發(fā)明專利34項,,國際發(fā)明專利3項),備案發(fā)布了3項產(chǎn)品的企業(yè)標準,,建設(shè)了小批量生產(chǎn)線,,培養(yǎng)打造了一支專業(yè)化的產(chǎn)業(yè)團隊。射頻發(fā)生器的研發(fā)成功和產(chǎn)業(yè)化實施,,為公司打造高端產(chǎn)品,,向?qū)I(yè)化、產(chǎn)業(yè)化和國際化戰(zhàn)略發(fā)展,,實現(xiàn)北廣科技“做強國內(nèi)行業(yè)之首,、創(chuàng)建國際知名企業(yè)”做出了貢獻!